Кубический счетчик частицы лазера для контроля чистоты воздуха чистой комнаты

Согласно отраслевым анализам, опубликованным SEMI, микрозагрязнение является ключевым фактором, влияющим на стабильность окружающей среды в контролируемых производственных средах. В результате мониторинг чистоты воздуха в чистых помещениях стал неотъемлемой частью программ контроля загрязнения и обеспечения качества на уровне объекта.

Твердые частицы являются одним из основных источников загрязнения воздуха в чистых помещениях. Постоянный мониторинг взвешенных в воздухе частиц помогает операторам объектов проверять чистоту воздуха и поддерживать соответствие стандартам чистых помещений.

Для поддержки непрерывного мониторинга окружающей среды в чистых помещениях Cubic предоставляет онлайн-оптический счетчик частиц, предназначенный для измерения концентрации частиц в воздухе в режиме реального времени в контролируемых средах, таких как производственные мощности электроники и другие приложения для чистых помещений.

КубическийOPC-6510DSРазработан на основе технологии лазерного рассеяния и позволяет точно обнаруживать частицы разного размера в единице объема воздуха. Благодаря встроенному модулю лазерного счетчика частиц, вентилятору с постоянными оборотами и ультразвуковому датчику потока OPC-6510DS обеспечивает стабильную скорость отбора проб 28,3 л/мин в соответствии с требованиями классификации чистых помещений ISO 14644-1.

Прибор поддерживает одновременный вывод через пять каналов размера частиц (> 0,3 мкм,> 0,5 мкм,> 1,0 мкм,> 5,0 мкм, >10 мкм), сообщаемых в шт./28,3 л или шт./м³, и предназначен для круглосуточной непрерывной работы для обеспечения стабильности, долгосрочный мониторинг уровней содержания частиц в воздухе.

Кроме того, OPC-6510DS оснащен встроенным сенсорным экраном для визуализации данных мониторинга в реальном времени и уровней классификации чистых помещений. Для поддержки экологических предупреждений на месте предоставляются звуковые и визуальные сигналы тревоги.

Данные мониторинга могут передаваться через связь RS485 Modbus и MQTT, что позволяет интегрировать их с системами мониторинга объектов или управления зданием, которые поддерживают своевременные действия экологического контроля для поддержания концентрации частиц в воздухе в пределах заданных порогов чистоты.